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X射线Talbot干涉仪和X射线Talbot干涉仪系统

摘要

本发明涉及一种X射线Talbot干涉仪,该X射线Talbot干涉仪包括:包括多个X射线透射部分的源光栅,被配置为允许来自X射线源的X射线中的一些通过;具有周期性结构的分束器光栅,被配置为通过使用所述周期性结构使来自所述X射线透射部分的X射线衍射以形成干涉图案;以及X射线检测器,被配置为检测来自所述分束器光栅的X射线。所述分束器光栅使来自所述多个X射线透射部分中的每个X射线透射部分的X射线衍射以形成各自与所述多个X射线透射部分之一对应的干涉图案。所述多个X射线透射部分被布置为使得各自与所述多个X射线透射部分之一对应的干涉图案相互叠加以增强通过所述干涉图案的调制而生成的边带中的空间频率分量。

著录项

  • 公开/公告号CN105992557B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-01-14

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 佳能株式会社;

    申请/专利号CN201580008324.2

  • 发明设计人 半田宗一郎;

    申请日2015-02-12

  • 分类号

  • 代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;

  • 代理人欧阳帆

  • 地址 日本东京

  • 入库时间 2022-08-23 10:47:41

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-01-14

    授权

    授权

  • 2016-11-09

    实质审查的生效 IPC(主分类):A61B6/00 申请日:20150212

    实质审查的生效

  • 2016-11-09

    实质审查的生效 IPC(主分类):A61B 6/00 申请日:20150212

    实质审查的生效

  • 2016-10-05

    公开

    公开

  • 2016-10-05

    公开

    公开

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