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Microsystem Technologies

Microsystem Technologies

中文名称：微系统技术

ISSN：0946-7076
出版周期：eight issues a year

发文量：1340

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1.Failure of electronic devices due to condensation

机译：电子设备因凝结而失效
- 作者：C. Schimpf;K. Feldmann;C. Matzner;A. Steinke
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第1期
2.Reliability testing of nano-particle system packaging

机译：纳米颗粒系统包装的可靠性测试
- 作者：James E. Morris
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第1期
3.Assessment of testing methodologies for thin-film vacuum MEMS packages

机译：评估薄膜真空MEMS封装的测试方法
- 作者：Qian Li;Hans Goosen;Fred van Keulen;Joost van Beek;Guoqi Zhang
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第1期
4.Failure modeling of ACA-glued flip-chip on flex assemblies

机译：柔性组件上ACA胶倒装芯片的故障建模
- 作者：B. Wunderle;C. Kallmayer;H. Walter;T. Braun;A. Gollhardt;B. Michel;H. Reichl
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第1期
5.Macroscopic invisible cables

机译：宏观隐形电缆
- 作者：Nicola M. Pugno
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第1期
6.A silicon test chip for the thermomechanical analysis of MEMS packagings

机译：用于MEMS封装热力学分析的硅测试芯片
- 作者：Soeren Majcherek;Thomas Leneke;Soeren Hirsch
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第1期
7.Changes in the microstructure of materials and their impact on reliability: experiments and modeling

机译：材料微观结构的变化及其对可靠性的影响：实验和建模
- 作者：Andreas Brandmair;Thomas Böhme;Wolfgang H. Müller
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第1期
8.A simple method for testing the electromigration resistance of solders

机译：一种测试焊料电迁移电阻的简单方法
- 作者：M. Saka;T. Kohara;T. Hasegawa;M. Yamashita
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第1期
9.Strength of hierarchical materials

机译：等级材料的强度
- 作者：Alberto Carpinteri;Pietro Cornetti;Nicola Pugno;Alberto Sapora
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第1期
10.Effects of fatigue and damage on the hysteresis loops of ferroelectric ceramics

机译：疲劳和损伤对铁电陶瓷磁滞回线的影响
- 作者：Shouwen Yu;Li Yu
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第1期
11.Simulations of nanoscale thermal conduction

机译：纳米级热传导模拟
- 作者：Pekka Heino
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第1期
12.How to extract continuum materials properties for (lead-free) solders from tensile tests and nanoindentation experiments

机译：如何从拉伸测试和纳米压痕实验中提取（无铅）焊料的连续材料特性
- 作者：W. H. Müller;H. Worrack;J. Sterthaus;J. Villain;J. Wilden;A. Juritza
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第1期
13.Interlayer cooling potential in vertically integrated packages

机译：垂直集成包装中的层间冷却潜力
- 作者：T. Brunschwiler;B. Michel;H. Rothuizen;U. Kloter;B. Wunderle;H. Oppermann;H. Reichl
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第1期
14.MST Special Issue on the conference MicroNanoReliability 2007

机译：MST会议上的MicroNanoReliability 2007特刊
- 作者：Bernd Michel
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第1期
15.A study on the novel micromixer with chaotic flows

机译：新型具有混沌流动的微混合器的研究
- 作者：Seung-Hyeon Lee;Ho-Jin Kang;Bumkyoo Choi
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第2期
16.Performance characterization of a decoupled tri-axis micro angular rate sensor

机译：解耦的三轴微角速率传感器的性能表征
- 作者：Nan-Chyuan Tsai;Chung-Yang Sue;Chih-Che Lin
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第2期
17.A nodal analysis model for the out-of-plane beamshape electrothermal microactuator

机译：面外束形电热微执行器的节点分析模型
- 作者：Rengang Li;Qing-An Huang;Weihua Li
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第2期
18.Fast patterning microstructures using inkjet printing conformal masks

机译：使用喷墨印刷保形掩模快速构图微结构
- 作者：C.-H. Lin;H. Yang;F.-Y. Chang;S.-H. Chang;M.-T. Yen
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第2期
19.UV surface exposure for low temperature hydrophilic silicon direct bonding

机译：紫外线表面曝光可实现低温亲水性硅直接键合
- 作者：Xiaohui Lin;Guanglan Liao;Zirong Tang;Tielin Shi
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第2期
20.Microinjection molded disposable microfluidic lab-on-a-chip for efficient detection of agglutination

机译：微注射成型一次性微流控芯片实验室，可有效检测凝集
- 作者：Sung Hwan Choi;Dong Sung Kim;Tai Hun Kwon
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第2期
21.Rubber-assisted micro forming of polymer thin films

机译：橡胶薄膜的橡胶辅助微成型
- 作者：Pratapkumar Nagarajan;Donggang Yao
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第2期
22.Mechanical behavior of a novel resonant microstructure for magnetic applications considering the squeeze-film damping

机译：考虑挤压膜阻尼的新型磁性共振结构的机械性能
- 作者：A. L. Herrera-May;L. A. Aguilera-Cortés;L. García-Gonzalez;E. Figueras-Costa
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第2期
23.Effect of microstructure on blood cell clogging in blood separators based on capillary action

机译：基于毛细管作用的微结构对血液分离器血细胞阻塞的影响
- 作者：Duckjong Kim;Jae Young Yun;Sang-Jin Park;Seung S. Lee
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第2期
24.A system-level model for a silicon thermal flow sensor

机译：硅热流量传感器的系统级模型
- 作者：Guang-Ping Shen;Ming Qin;Qing-An Huang
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第2期
25.Fabrication of a freestanding micro mechanical structure using electroplated thick metal with a HAR SU-8 mold

机译：使用HAR SU-8模具使用电镀厚金属制造独立的微机械结构
- 作者：Jin Seung Lee;Seung S. Lee
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第2期
26.Micromachining of passive planar micromixer on poly (methyl methacrylate) substrate with excimer laser ablation

机译：准分子激光烧蚀在聚甲基丙烯酸甲酯基底上的无源平面微混合器的微加工
- 作者：Heng Qi;Yuhong Liu;Xuan Wang;Feng Shen;Yong Yu;Tao Chen;Tiechuan Zuo
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第2期
27.Numerical simulation and analysis of electrically actuated microbeam-based MEMS capacitive switch

机译：电动微束MEMS电容开关的数值模拟与分析
- 作者：Xun-jun He;Qun Wu;Yue Wang;Ming-xin Song;Jing-hua Yin
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第2期
28.The mechanics of polymer swelling on microcantilever sensors

机译：微悬臂梁传感器上的聚合物溶胀机理
- 作者：Natalya L. Privorotskaya;William P. King
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第2期
29.Shield-layers for reducing thermoelastic damping in resonating Silicon bars

机译：减少共振硅棒中热弹性阻尼的屏蔽层
- 作者：Rashed Mahameed;David Elata
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第2期
30.Integrated optimization design for high-speed three-axis actuator in optical pickup

机译：光学头中高速三轴致动器的集成优化设计
- 作者：Bu-qing Zhang;Jian-she Ma;Long-fa Pan;Xue-min Cheng;Yi Tang
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第3期
31.Compounding, micro injection moulding and characterisation of polycarbonate-nanosized alumina-composites for application in microoptics

机译：用于微光学的聚碳酸酯纳米氧化铝复合材料的复合，微注射成型和表征
- 作者：Thomas Hanemann;Jürgen Hau?elt;Eberhard Ritzhaupt-Kleissl
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第3期
32.Design and fabrication of SU-8 micro optic fiber holder with cantilever-type elastic microclips

机译：悬臂式弹性微夹SU-8微光纤支架的设计与制造
- 作者：Z. Ling;C. Liu;K. Lian
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第3期
33.Experimental verification of an out-of-plane repulsive-force electrostatic actuator using a macroscopic mechanism

机译：使用宏观机制的面外排斥力静电致动器的实验验证
- 作者：Siyuan He;John S. Chang
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第3期
34.Design and fabrication of a microfluidic device for near-single cell mRNA isolation using a copper hot embossing master

机译：使用铜热压花母板分离单细胞mRNA的微流控设备的设计和制造
- 作者：S. R. Nugen;P. J. Asiello;A. J. Baeumner
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第3期
35.The study of integrated LED-backlight plate fabricated by micromachining technique

机译：微加工技术制造集成LED背光板的研究
- 作者：Chao-Heng Chien;Zhi-Peng Chen
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第3期
36.Evaluation of multi-Gbps serial link using wire-bonded multiple exposed pads (M-pad) leadframe package

机译：使用引线键合的多个裸露焊盘（M-pad）引线框架封装评估多Gbps串行链路
- 作者：Nansen Chen;Hongchin Lin
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第3期
37.Computational fluid dynamics for effects of coolants on on-chip cooling capability with carbon nanotube micro-fin architectures

机译：碳纳米管微鳍架构的冷却液对芯片冷却能力影响的计算流体力学
- 作者：Yi Fan;Xiaolong Zhong;Johan Liu;Teng Wang;Yan Zhang;Zhaonian Cheng
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第3期
38.Surface activation using remote plasma for silicon to quartz wafer bonding

机译：使用远程等离子体进行表面活化以实现硅到石英晶片的键合
- 作者：R. E. Belford;S. Sood
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第3期
39.Electroplating a magnetic core for micro fluxgate sensor

机译：电镀用于微通量门传感器的磁芯
- 作者：Chun-Lei Kang;Gang Liu;Jian-Zhong Yang;Long-Hua Liu;Ying Xiong;Yang-Chao Tian
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第3期
40.Micro injection molding of micro gear using nano-sized zirconia powder

机译：纳米氧化锆粉微注射成型微型齿轮
- 作者：P. C. Yu;Q. F. Li;J. Y. H. Fuh;T. Li;P. W. Ho
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第3期
41.Resonant operation and cycle work from a MEMS-based micro-heat engine

机译：基于MEMS的微热引擎的共振运行和循环工作
- 作者：L. W. Weiss
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第3期
42.Research development of measuring methods on the tribology characters for movable MEMS devices: a review

机译：可移动MEMS器件摩擦学特性测量方法的研究进展
- 作者：Zhanshe Guo;Zhou Feng;Shangchun Fan;Dezhi Zheng;Haihan Zhuang
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第3期
43.Monolithic fabrication of electro-fluidic polymer microchips

机译：电流体聚合物微芯片的整体制造
- 作者：Proyag Datta;Gojo George;Sital Tiwari;Jost Goettert
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第3期
44.A swing arm actuator for a small form factor optical drive

机译：用于小型光驱的摆臂致动器
- 作者：J. Knittel;J. M??ner;M. Bammert
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第3期
45.Self-sensing actuators with passive damping for adaptive vibration control of hard disk drives

机译：具有被动阻尼的自感应执行器，用于硬盘驱动器的自适应振动控制
- 作者：K. W. Chan;W. H. Liao
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第3期
46.Numerical and experimental validation of out-of-plane resonance closed formulas for MEMS suspended plates with square holes

机译：具有方孔的MEMS悬挂板的平面外共振闭合公式的数值和实验验证
- 作者：Giorgio De Pasquale;Aurelio Somà
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第3期
47.A novel study of head motion hysteresis issues in contact probe recording systems

机译：接触式探针记录系统中的头部运动滞后问题的新颖研究
- 作者：Narayanan Ramakrishnan;Mark D. Bedillion
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第4期
48.Improvement of dynamic characteristics of polydimethylsiloxane based microvalve

机译：改善聚二甲基硅氧烷基微阀的动态特性
- 作者：Gyu-Sik Ra;Sandeep Kumar Jha;Tae-Sik Yoon;Hyun Ho Lee;Yong-Sang Kim
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第4期
49.Silicon–glass instrumented solid-phase extraction–zone electrophoresis microchip with thin amorphous silicon film electrodes: performance in immunoaffinity analysis

机译：具有薄非晶硅膜电极的硅玻璃仪器固相萃取区电泳微芯片：免疫亲和分析的性能
- 作者：Ari Hokkanen;Heli Sirén;Lotta K. Amundsen;Kai Kolari;Sami Franssila;Santeri Tuomikoski;Ingmar Stuns;Stella Rovio;Tarja K. Nevanen;Kristiina Takkinen;Hans S?derlund
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第4期
50.Electromechanical coupling analysis for MEMS featured by stepped-height structure and concentrated load

机译：步进式结构和集中载荷的MEMS机电耦合分析
- 作者：Kai Li;Wenyuan Chen;Weiping Zhang;Gaoyin Ma
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第4期
51.Fabrication of high-aspect-ratio electrode array by combining UV-LIGA with micro electro-discharge machining

机译：UV-LIGA与微放电加工相结合制备高纵横比电极阵列
- 作者：Yang-Yang Hu;D. Zhu;N. S. Qu;Y. B. Zeng;P. M. Ming
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第4期
52.Analysis of application patterns of Z-type MEMS microspring

机译：Z型MEMS微弹簧的应用模式分析
- 作者：Hua Li;Shi Gengchen
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第4期
53.Dynamic response of a torsional micromirror to electrostatic force and mechanical shock

机译：扭转微镜对静电力和机械冲击的动态响应
- 作者：Faraz Khatami;Ghader Rezazadeh
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第4期
54.Electrothermoelastic modeling of MEMS gripper

机译：MEMS夹具的电热弹性建模
- 作者：Mohammad Mayyas;Harry Stephanou
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第4期
55.Uniformity study of nickel thin-film microstructure deposited by electroplating

机译：电镀沉积镍薄膜微观结构的均匀性研究
- 作者：Jia-dong Li;Ping Zhang;Yi-hui Wu;Yong-shun Liu;Ming Xuan
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第4期
56.Design and fabrication of a micro Alvarez lens array with a variable focal length

机译：具有可变焦距的微型Alvarez透镜阵列的设计和制造
- 作者：Chunning Huang;Lei Li;Allen Y. Yi
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第4期
57.Magnetic actuator design for single-axis micro-gyroscopes

机译：单轴微陀螺仪的磁性执行器设计
- 作者：Nan-Chyuan Tsai;Wei-Ming Huang;Chao-Wen Chiang
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第4期
58.An experimental and numerical investigation into the effects of the PZT actuator shape in polymethylmethacrylate (PMMA) peristaltic micropumps

机译：PZT执行器形状对聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）蠕动微型泵影响的实验和数值研究
- 作者：Yi-Chu Hsu;Jia-Long Hsu;Ngoc Bich Le
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第4期
59.Wafer-level BCB bonding using a thermal press for microfluidics

机译：使用热压机对微流体进行晶圆级BCB键合
- 作者：Xiaodong Zhou;Selven Virasawmy;Chenggen Quan
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第4期
60.Numerical analyses of peel demolding for UV embossing of high aspect ratio micro-patterning

机译：高深宽比微图案UV压花剥离脱模的数值分析
- 作者：L. P. Yeo;S. C. Joshi;Y. C. Lam;Mary B. Chan-Park;D. E. Hardt
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第4期
61.Cross-axis sensitivity reduction of a silicon MEMS piezoresistive accelerometer

机译：硅MEMS压阻式加速度计的跨轴灵敏度降低
- 作者：A. Ravi Sankar;S. Das;S. K. Lahiri
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第4期
62.Surface micromachined on-chip transformer fabricated on glass substrate

机译：在玻璃基板上制造的表面微加工片上变压器
- 作者：Jumril Yunas;Azrul Azlan Hamzah;Burhanuddin Yeop Majlis
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第4期
63.A new way of information storage using red, green, blue and black color imprints

机译：一种使用红色，绿色，蓝色和黑色烙印的信息存储新方法
- 作者：Vamsi Talla;Rahul Sangwan;Arun Chattopadhyay
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第4期
64.Analysis of the friction processes in ultrasonic wedge/wedge-bonding

机译：超声楔/楔结合中的摩擦过程分析
- 作者：Holger Gaul;M. Schneider-Ramelow;H. Reichl
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第5期
65.High standoff dual-mode-actuation MEMS switches

机译：高隔离度双模式驱动MEMS开关
- 作者：Yoonsu Choi;Kieun Kim;Mark G. Allen
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第5期
66.Microfluidic devices for sample pretreatment and applications

机译：用于样品预处理和应用的微流体装置
- 作者：Xing Chen;Da-Fu Cui
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第5期
67.Effect of thermal pole tip protrusion and disk roughness on slider disk contacts

机译：热极尖端突出和磁盘粗糙度对滑块磁盘触点的影响
- 作者：Jianfeng Xu;James D. Kiely;Yiao-Tee Hsia;Frank E. Talke
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第5期
68.Analysis and design of a wide micro beam as a pressure gauge for high sensitivity MEMS fingerprint sensors

机译：宽微束作为高灵敏度MEMS指纹传感器的压力计的分析和设计
- 作者：Mitra Damghanian;Burhanuddin Yeop Majlis
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第5期
69.Microfluidic system for electroelution of proteins from a clinical sampling strip

机译：微流控系统，用于从临床采样条中电洗脱蛋白质
- 作者：Sun Min Kim
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第5期
70.Inertia magnetic latch design considering actuator load unload

机译：考虑执行器负载卸载的惯性磁锁设计
- 作者：Yanning Liu;Seong Woo (Sean) Kang;Seungman (Paul) Chang
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第5期
71.Current micropump technologies and their biomedical applications

机译：当前的微型泵技术及其生物医学应用
- 作者：Farid Amirouche;Yu Zhou;Tom Johnson
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第5期
72.A hybrid surface tension seal for pneumatic and hydraulic microactuators

机译：气动和液压微执行器的混合表面张力密封
- 作者：Micha?l F. L. De Volder;Dominiek Reynaerts
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第5期
73.Effects of dielectric charging on MEMS-based grating light modulator

机译：介电电荷对基于MEMS的光栅光调制器的影响
- 作者：Jie Zhang;Ji Yong Sun;Zhi Hai Zhang;Yong Zhu
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第5期
74.Design and simulation of a normally closed glucose sensitive hydrogel based microvalve

机译：常闭葡萄糖敏感水凝胶微阀的设计与仿真
- 作者：Masoomeh Tehranirokh;Burhanuddin Yeop Majlis;Badariah Bais
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第5期
75.Analysis of the nonlinear dynamic stability for an electrically actuated viscoelastic microbeam

机译：电驱动粘弹性微梁的非线性动力稳定性分析
- 作者：Y. M. Fu;Jin Zhang;R. G. Bi
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第5期
76.Fabrication of compliant high aspect ratio silicon microelectrode arrays using micro-wire electrical discharge machining

机译：使用微线放电加工制造顺应性高纵横比硅微电极阵列
- 作者：Dinesh Rakwal;Sumet Heamawatanachai;Prashant Tathireddy;Florian Solzbacher;Eberhard Bamberg
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第5期
77.Reliability study of hermetic wafer level MEMS packaging with through-wafer interconnect

机译：具有晶圆互连的密封晶圆级MEMS封装的可靠性研究
- 作者：Sung-Hoon Choa
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第5期
78.Investigation on nickel/alumina-nanoparticles co-deposition

机译：镍/氧化铝-纳米粒子共沉积的研究
- 作者：Xinlong Huang;Ying Xiong;Longhua Liu;Yangchao Tian;Gang Liu
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第5期
79.Modeling and analysis of a 2-DOF bidirectional electro-thermal microactuator

机译：二维自由度双向电热微执行器的建模与分析
- 作者：Caglar Elbuken;Nezih Topaloglu;Patricia M. Nieva;Mustafa Yavuz;Jan P. Huissoon
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第5期
80.Dual confocal laser-induced fluorescence/moveable contactless conductivity detector for capillary electrophoresis microchip

机译：双共聚焦激光诱导的荧光/可移动非接触式电导检测器，用于毛细管电泳微芯片
- 作者：Feng Shen;Yong Yu;Meng Yang;Qi Kang
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第6期
81.Parametric model order reduction for squeeze film damping in perforated microstructures

机译：穿孔微结构中挤压膜阻尼的参数模型阶数减少
- 作者：Honglong Chang;Yafei Zhang;Jinghui Xu;Weizheng Yuan
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第6期
- MEMS;
- Macromodel;
- Parametric model order reduction;
- Squeeze film damping;
- Perforations;
82.Slip model for the ultra-thin gas-lubricated slider bearings of an electrostatic micromotor in MEMS

机译：MEMS静电微电机超薄气润滑滑块轴承的滑移模型
- 作者：Wen-Ming Zhang;Guang Meng;Jian-Bin Zhou;Jie-Yu Chen
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第6期
83.Micromanipulation system using scanning electron microscope

机译：使用扫描电子显微镜的显微操纵系统
- 作者：Y. Nakazato;T. Yuasa;G. Sekine;H. Miyazawa;M. Jin;S. Takeuchi;Y. Ariga;M. Murakawa
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第6期
84.Fabrication of bio-microelectrodes for deep-brain stimulation using microfabrication and electroplating process

机译：使用微加工和电镀工艺制备用于深脑刺激的生物微电极
- 作者：Ge Qin;Yaxiong Liu;Hongzhong Liu;Yucheng Ding;Xiaping Qi;Rukun Du
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第6期
85.Application of hybrid differential transformation/finite difference method to nonlinear analysis of micro fixed-fixed beam

机译：混合微分变换/有限差分法在微固定梁非线性分析中的应用
- 作者：Cha’o-Kuang Chen;H. Y. Lai;Chin-Chia Liu
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第6期
86.A micro electromagnetic low level vibration energy harvester based on MEMS technology

机译：基于MEMS技术的微电磁低级振动能量采集器
- 作者：Peihong Wang;Katsuhiko Tanaka;Susumu Sugiyama;Xuhan Dai;Xiaolin Zhao;Jingquan Liu
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第6期
87.Design and analysis of the film assembly of thermo-optic infrared focal plane arrays

机译：热光红外焦平面阵列膜组件的设计与分析
- 作者：Xu Yan;Fei Feng;Sheng Li;Yuelin Wang
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第6期
88.Visualizing analysis for weld line forming in micro injection molding by experimental method

机译：微注射成型中焊缝成型的可视化分析实验方法
- 作者：Lei Xie;Gerhard Ziegmann
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第6期
89.Passive microfluidic gas valves using capillary pressure

机译：使用毛细管压力的被动微流燃气阀
- 作者：Duckjong Kim;Y. W. Hwang;S.-J. Park
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第6期
90.Lifetime modelling for microsystems integration: from nano to systems

机译：微系统集成的生命周期建模：从纳米到系统
- 作者：Bernhard Wunderle;B. Michel
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第6期
91.Grain size control of (111) polycrystalline 3C-SiC films by doping used as folded-beam MEMS resonators for energy dissipation

机译：通过掺杂来控制（111）多晶3C-SiC薄膜的晶粒尺寸，以用作折束MEMS谐振器以实现能量耗散
- 作者：Wen-Teng Chang;Christian Zorman
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第6期
92.Molding technology for improvement on dimensional accuracy in micro metal injection molding

机译：改善微金属注射成型尺寸精度的成型技术
- 作者：Kenji Okubo;Shigeo Tanaka;Hiroshi Ito
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第6期
93.A new developed method assisting mass transfer of Ni ions in via

机译：一种新开发的辅助Ni离子在通道中传质的方法
- 作者：L. M. Wang
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第6期
94.Electromechanical characterization of a new micro programmable blazed grating by laser Doppler vibrometry

机译：激光多普勒振动计对新型微可编程闪耀光栅的机电表征
- 作者：Yi-Ting Yu;Wei-Zheng Yuan;Da-Yong Qiao
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第6期
95.A PZT-driven atomizer based on a vibrating flexible membrane and a micro-machined trumpet-shaped nozzle array

机译：基于振动柔性膜和微加工喇叭形喷嘴阵列的PZT驱动雾化器
- 作者：Yeau-Ren Jeng;Chien-Chan Su;Guo-Hua Feng;Yu-Yin Peng;Ghin-Pin Chien
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第6期
96.Influence of environmental temperature on the dynamic properties of a die attached MEMS device

机译：环境温度对贴片MEMS器件动态特性的影响
- 作者：Jing Song;Qing-An Huang;Ming Li;Jie-Ying Tang
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第6期
97.Switching cell embedded in photonic crystal

机译：嵌入光子晶体的开关单元
- 作者：Almir Wirth Lima Jr;A. S. B. Sombra
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第6期
98.Experimental analysis and numerical modelling of the forming process of polypropylene replicas of micro-cavities using hot embossing

机译：用热压花成型微腔聚丙烯复制品的实验分析和数值模拟
- 作者：Mohamed Sahli;Christine Millot;Claude Roques-Carmes;Chantal Khan Malek
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第6期
99.Thermal conductivity measurement of submicrometer-scale silicon dioxide films by an extended micro-Raman method

机译：扩展微拉曼法测量亚微米级二氧化硅薄膜的热导率
- 作者：Shuo Huang;Xiaodong Ruan;Jun Zou;Xin Fu;Huayong Yang
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第6期
100.The optimization of hybrid scaffold fabrication process in precision deposition system using design of experiments

机译：实验设计优化精密沉积系统中混合支架的制备工艺。
- 作者：Jong Young Kim;Dong-Woo Cho
- 期刊名称：《Microsystem Technologies》 | 2009年第6期

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