法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-08-06
授权
授权
2017-09-26
实质审查的生效 IPC(主分类):B24B37/10 申请日:20150826
实质审查的生效
2017-09-26
实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/10 申请日:20150826
实质审查的生效
2016-03-09
公开
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2016-03-09
公开
公开
2016-03-09
公开
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机译: 抛光垫,抛光垫的处理方法以及使用该抛光垫的基板的制造方法
机译: 抛光垫组件,包括该抛光垫组件的用于抛光晶片的设备以及使用该抛光垫组件来抛光晶片的方法
机译: 基板保持装置,基板抽吸确定方法,基板抛光装置,基板抛光方法,从晶片的上表面去除液体的方法,以抛光,弹性膜按压晶片,对抛光垫,基板释放方法和恒定量气体供应装置