玻璃基板处理装置、玻璃基板处理系统和处理方法

摘要

本发明提供一种通过缩短玻璃基板的热处理时间来降低玻璃基板的收纳枚数从而能够实现外形的小型化的玻璃基板处理装置。玻璃基板处理装置具有加热室，加热室被由众所周知的隔热材料制成的隔热壁覆盖住6面。在加热室上安装有排气导管。排气导管安装在加热室的顶面。在加热室的内部设置有基板载置部件和多个卤素加热器。