放射线敏感性树脂组合物、树脂图案膜及其形成方法以及树脂图案膜的应用

摘要

本发明涉及含有与具有芳基和极性基团的基团结合的脂环式烯烃树脂、酸发生剂、交联剂，以及溶剂的放射线敏感性树脂组合物，除具有优良的低介电常数、平坦性、透明性以及耐溶剂性以外，还具有优良的分辨率、残膜率以及图案形状，以及优良的耐热变色性。应用该放射线敏感性树脂组合物的树脂图案膜的形成方法。该树脂图案膜与其作为电子部件用树脂膜的利用。