基板偏离校正装置、基板偏离校正方法及具有基板偏离校正装置的载台

摘要

本发明提供一种基板偏离校正装置，包括多个偏离感知结构和偏离调整结构，多个偏离感知结构设置于载台本体表面的四周边缘，偏离感知结构包括可上下伸缩的定位销、以及设置于定位销两侧的光源发射器和光源感知器，光源感知器与偏离调整结构电性连接，偏离调整结构包括鼓风调整结构和鼓风配合结构，鼓风配合结构设置于载台本体表面且可鼓出竖直方向的风以托住偏移的基板，鼓风调整结构设置于定位销的斜面处且可鼓出水平方向载台本体内侧的风以调整基板相对位置。本发明还提供一种基板偏离校正装置的基板偏离校正方法、以及一种具有基板偏离校正装置的载台。