基板搬运用机器人系统、基板位置偏离检测及修正方法

摘要

本发明提供一种能够检测基板的位置偏离的基板搬运用手、基板搬运用机器人系统、基板位置偏离检测方法。另外，提供基板位置修正方法。基板搬运用机器人系统具备：基板搬运用机器人，具有设有接触基板下面的接触部及用于检测接触于接触部的基板的重心位置的多个传感器的基板搬运用手：及第1控制装置，具有差分运算部与第1判断部，差分运算部分别运算基板被支撑在基板搬运用手上的成为基准的位置时的各传感器的检测值即基准值与现在的各传感器的检测值的差分，第1判断部根据各差分而判断基板的位置偏离方向。