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图案颠反膜形成用组合物和颠反图案形成方法

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本发明的目的在于，提供能够用通常在抗蚀剂图案的剥离中使用的有机溶剂进行重新加工的、含有硅原子的图案颠反膜形成用组合物。因而提供了一种含有聚硅氧烷、添加剂和有机溶剂的图案颠反膜形成用组合物，其特征在于，所述聚硅氧烷具有下述式(1)所表示的结构单元和式(2)所表示的结构单元，(式(1)中、R

著录项

公开/公告号CN103443711B

专利类型发明专利
公开/公告日2016-10-12

原文格式PDF
申请/专利权人日产化学工业株式会社;
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申请/专利号CN201280014532.X
发明设计人境田康志;谷口博昭;
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申请日2012-02-24
分类号
代理机构北京市中咨律师事务所;
代理人李照明
地址日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:47:50

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2016-10-12

授权

授权
2014-04-30

实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/40 申请日:20120224

实质审查的生效
2013-12-11

公开

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