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一种石墨舟外舟页及石墨舟

摘要

本实用新型属于石墨舟技术领域,具体公开了一种石墨舟外舟页及石墨舟,该石墨舟外舟页包括舟片本体,舟片本体上设有气孔,气孔贯穿舟片本体设置,气孔的设置位置对应于硅片的主栅线的位置。通过将气孔的设置位置与硅片成品的主栅线的位置对应,硅片在完成镀膜后所产生的气孔印,在下一道丝印工艺时,印刷到硅片上的主栅线就能够覆盖掉硅片上的气孔印,从而硅片成品中的气孔印被主栅线覆盖,外观质量检测合格,且不影响硅片的使用功能。本实用新型还提供一种石墨舟,该石墨舟包括上述方案中的石墨舟外舟页,采用该石墨舟制作的硅片的成品表面不存在气孔印,外观质量检测良好,且硅片性能保持良好。

著录项

  • 公开/公告号CN215560656U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2022-01-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 横店集团东磁股份有限公司;

    申请/专利号CN202122229906.9

  • 申请日2021-09-15

  • 分类号C23C16/458(20060101);C23C16/50(20060101);H01L21/673(20060101);

  • 代理机构11332 北京品源专利代理有限公司;

  • 代理人郭利娜

  • 地址 322118 浙江省金华市东阳市横店镇工业区

  • 入库时间 2022-08-23 04:02:17

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