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第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议
第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议
召开年:
1995
召开地:
西安
出版时间:
1995-11
主办单位:
中国电子学会
会议文集:
第九届全国半导体集成电路、硅材料学术会议论文集
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1.
φ4″〈100〉区熔硅单晶的研制
谭伟时
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
硅;
2.
NTDCZSi高温退火行为
张维连
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
退火;
3.
半导体材料的精密切割
王琮
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
半导体材料;
4.
XPS法研究BEW925型硅片清洗液清洗效果
张民杰
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
清洗;
5.
影响光刻工艺质量的硅抛光片加工参数——平整度
孙燕
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
光刻材料;
6.
1000V 100A SITH用高阻反型厚外延材料
吴福民
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
外延层;
7.
L波段150W宽带脉冲动率管用硅外延材料
高山
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
L波段;
8.
BSIT用高阻双层硅外延材料
夏明颖
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
硅;
9.
N<'->/P<'+>异型高阻厚层硅外延材料
王向武
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
硅;
10.
UHVCVD系统中3″硅片电阻丝辐射加热装置及其传热物理基础的探讨
叶志镇
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
硅;
11.
3″硅片CVD外延电阻丝辐射加热非稳态过程分析
陈伟华
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
电阻器;
12.
Si(100)上β-FeSi的共沉积生长
陈向东
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
硅;
13.
微氮单晶硅片的热翘曲
卢焕明
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
硅;
14.
MCZ硅的氧碳含量及电阻率均匀性
卢宁
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
单晶;
15.
缺陷多层结构对硅中金属杂质的吸除
李养贤
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
硅;
16.
多孔硅光致发光谱的多峰结构
崔德升
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
硅;
17.
CZ硅生长中晶体温度的数学模型
陈立登
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
硅;
18.
硅单晶片抛光镜面表面状态的分析研究
吴一平
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
硅;
19.
硅片抛光雾的分析研究
陈浩
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
硅;
20.
SDY-VI新型双位组合四探针电阻率测试仪
鲁效明
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
电阻率;
21.
双电测组技术——四探针测片电阻率发展新趋势
宿昌厚
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
探针;
22.
Si液相外延层的双晶X衍射
张仕国
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
硅;
23.
Si材料的PL谱测量
庄严
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
硅;
24.
通用薄膜双栅SOI器件亚阈值电流模型
陈占平
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
薄膜;
25.
0.5μm SOI NMOSFET的栅电流的模拟
张文俊
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
电流;
26.
深压微米(0.045~0.15μm)SOI/MOSFET小信号最高振荡频率f
周胜涛
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
模拟;
27.
一种确定MOS器件亚阈区沟道表面势的新方法
陈之昀
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
阈值;
28.
MOS电容FN电流的噪声
陈铸
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
噪声测量;
29.
混合双极/MOS晶体管模拟
王益民
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
晶体管;
30.
N管开启电压的调整注入及其对P-N结击穿电压的影响
吴正立
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
击穿电压;
31.
高性能BiCMOS工艺技术及应用
沈文正
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
比较器;
32.
CMOS SRAMs的单粒子效应及其加固技术研究
黄胜明
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
单粒子态;
33.
硅栅CMOS电路抗静电性能研究
王英民
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
抗静电;
34.
SOI/全介质隔离技术
刘道广
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
介质隔离;
35.
单片14位A/D转换器工艺技术
程振洲
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
模-数转换器;
36.
评估小剂量离子注入均匀性的新技术—多探针C-V法
陈光遂
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
探针;
37.
掺磷多晶硅发射极晶体管特性
沈世峰
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
晶体管;
38.
超高速多晶硅发射及RCA双极晶体管
张利春
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
双极晶体管;
39.
5位D/A转换和位置放大集成电路CVF291的电路设计和分析
林如霭
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
集成电路;
40.
高压运算放大器LF143的研制
段春丽
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
运算放大器;
41.
电子辐照制备超快恢复二极管研究
胡再国
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
二极管;
42.
热稳定超快恢复二极管的研制
林晓潼
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
二极管;
43.
硅片预退火温度对二极管反向恢复时间的影响
张剑平
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
二极管;
44.
BESOI技术在双极工艺中的初步应用研究
刘嵘侃
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
衬底;
45.
低温ECL电路的行为分析与优化设计
李尧
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
低温;
46.
超导运算放大器:超高性能模拟VLSI新的子电路
蒋建飞
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
运算放大器;
47.
用四端测试结构测量超高速双极晶体管串联电阻
何美华
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
双极晶体管;
48.
CMOS SRAMs的单粒子效应及其加固技术研究
黄胜明
;
宋钦岐
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
单粒子态;
集成电路;
存储器;
加固;
49.
φ3″P型高阻FzSi单晶制备中真空提纯工艺的研究
孙华英
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
单晶制备;
50.
大直径低弯曲度Si切割片的研究
张民杰
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
切割;
51.
SOS材料超薄衬底片抛光工艺研究
孙家龙
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
抛光;
52.
双卡套密封、双通道掺杂外延控制系统及三英寸硅外延材料的研制
曹翰林
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
硅;
53.
高能粒子探测器用P-Si外延片研制
赵永发
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
探测器;
54.
3″硅片CVD外延电阻丝辐射加热稳态过程分析
叶志镇
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
硅;
55.
3″硅片超高真空CVD低温外延研究
叶志镇
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
真空;
56.
硅液相外延中石墨舟的选用
张仕国
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
硅;
57.
硅中氮微结构新模型介绍
季振国
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
硅;
58.
热处理对硅片断裂强度的影响
卢焕明
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
热处理;
59.
微氮硅单晶中氧氮复合体的热处理演变行为
张溪文
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
单晶;
60.
微氮硅中铁杂质对氧沉淀影响的初步研究
张溪文
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
硅;
61.
重掺锑硅中氧及结合机制
徐岳生
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
氧;
62.
微缺陷对FZSi片电阻率稳定性的影响
鞠玉林
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
石英玻璃;
63.
多孔硅材料的电致发光特性及其微结构
邹秦
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
硅;
64.
硅—二氧化硅界面处的金属杂质沉淀
刘彩池
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
杂质;
65.
高阻硅特性的研究
陈金太
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
硅;
66.
提拉速率对于直拉硅单晶生长过程中的热量传输的影响
陈修治
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
单晶;
67.
大直径重掺锑硅单晶及质量问题的研究
张果虎
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
单晶;
68.
硅外延层电阻率测量值的一致性研讨
刘学如
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
硅;
69.
硅样片倾斜角度对扩展电阻测量值的影响
杨丽卿
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
硅;
70.
扩展电阻探针技术中“Dickey”修正因子的选择
杨丽卿
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
探针;
71.
用扩展电阻技术剖析外延工艺质量
谢启耀
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
电阻;
72.
TFSOIMOSFET改进电流模型
魏丽琼
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
电流;
73.
0.5um薄层CMOS/SOI门延迟测量的环振临界级数模拟
范辉
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
模拟测量法;
74.
0.5umSOI/MOSFET散射矩阵的器件物理及模拟
齐臣杰
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
散射矩阵;
75.
深亚微米(0.045-0.15um)簿层SOI/MOSFET器件频率特性研究
皇甫鲁江
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
频率响应;
76.
MOSFET高场诱生陷阱密度谱
许铭真
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
电子陷阱(半导体);
77.
3GHz多晶硅发射极微波静态分频器的设计
莫邦燹
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
分频器;
78.
1μm CMOS电路生产中所用的光刻胶反向腐蚀平坦化工艺
吕军
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
光刻材料;
79.
关于提高N管源漏穿通电压的研究
吴正立
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
击穿电压;
80.
LC01数字式SCR触发电路
袁雅玲
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
半导体器件;
81.
硅栅CMOS集成电路场区电离辐射性能研究
赵元富
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
电离辐射;
82.
薄膜全耗尽CMOS/SIMOX模拟开关电路的研制
张正番
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
逻辑电路;
83.
全耗尽PMOSFET/SIMOX的温度特性分析
竺士炀
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
半导体材料;
84.
低温NMOS器件阈值电压的分析与设计
吴金
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
阈值;
85.
热生长超薄SiO击穿特性的研究
张佳文
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
击穿电压;
86.
PET的界面正电荷陷阱模型分析
汤玉生
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
电荷;
87.
镍硅化物自对准多晶硅发射极晶体管
高玉芝
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
晶体管;
88.
一种铁氧体激励器(JLQ5)的电路设计
邹务金
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
电路设计;
89.
0.5μm SOI NMOSFET的栅电流的模拟
张文俊
;
杜敏
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
|
1995年
电流;
模拟;
程序系统;
SOI MOSFET器件;
90.
1μm CMOS电路生产中所用的光刻胶反向腐蚀平坦化工艺
吕军
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
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1995年
光刻材料;
生产工艺;
光刻胶;
CMOS电路;
91.
深压微米(0.045~0.15μm)SOI/MOSFET小信号最高振荡频率fmax的模拟研究
周胜涛
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冯国进
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
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1995年
模拟;
信号;
振荡;
频率测量;
深亚微米SOI器件;
92.
1000V 100A SITH用高阻反型厚外延材料
吴福民
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赵彤
《第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议》
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1995年
外延层;
外延生长;
半导体器件;
外延材料;
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