一种第三次硅片清洗水的再次循环利用装置

摘要

本实用新型公开了一种第三次硅片清洗水的再次循环利用装置，包括圆形箱体，所述圆形箱体内设有过滤结构；所述过滤结构包括：锥形筛网壳、圆形筛网壳体以及伺服电机；所述圆形箱体内侧壁面安置有第一环形框架，所述第一环形框架上开设有位置相对应的条形豁槽，每个所述条形豁槽内均安置有支柱，每个所述支柱上均套装有线圈，一对所述线圈上共同安置有第二环形框架，本实用新型涉及硅片清洗水的再次循环利技术领域。有效的解决了背景技术中所提及的硅片清洗工序中问题，通过本装置的过滤结构，便于将第三次清洗的水进行过滤，便于再次使用，便于水循环使用，节约水资源。