一种新型防水MEMS麦克风

摘要

本实用新型公开了一种新型防水MEMS麦克风，其特征在于：包括外壳、PCB基板、MEMS芯片、ASIC芯片、音频放大器和键合线，所述外壳位于PCB基板的上方；所述MEMS芯片、ASIC芯片分别固定在PCB基板底部的MEMS芯片贴装处和ASIC芯片贴装处上，所述MEMS芯片、ASIC芯片及PCB基板之间通过键合线实现电气连接；所述PCB基板上设有凹槽，凹槽上设有防水网；所述防水网上设MEMS芯片。本实用的MEMS麦克风在PCB基板上设置凹槽，将Plasma纳米涂层处理过具有防尘防水功能的滤网贴在凹槽，再将MEMS芯片固定在滤网上，使得MEMS麦克风具有很好的防尘防水功能，提高使用寿命，使麦克风能在各种环境中使用。