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软X射线多层膜反射镜的反射率测量

         

摘要

采用线状激光等离子体作为软X光源,用具有空间分辨的掠入射光栅谱仪对正入射多层膜反射镜进行了反射率测量.谱仪测谱范围20nm~40nm,谱分辨0.05nm,测得50层C/Al反射镜在中心波长28.6nm处反射率为22%±4%,带宽约为2.5nm.

著录项

  • 来源
    《强激光与粒子束》 |2000年第1期|58-60|共3页
  • 作者单位

    中物院核物理与化学研究所等离子体物理,国家级重点实验室,绵阳919-216信箱,621900;

    中物院核物理与化学研究所等离子体物理,国家级重点实验室,绵阳919-216信箱,621900;

    中物院核物理与化学研究所等离子体物理,国家级重点实验室,绵阳919-216信箱,621900;

    中物院核物理与化学研究所等离子体物理,国家级重点实验室,绵阳919-216信箱,621900;

    中物院核物理与化学研究所等离子体物理,国家级重点实验室,绵阳919-216信箱,621900;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 与物质的相互作用;
  • 关键词

    X光多层膜镜; 反射率; 激光等离子体;

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