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谷渝秋; 淳于书泰; 李玉同; 张启仁; 尤永禄;
中物院核物理与化学研究所等离子体物理,国家级重点实验室,绵阳919-216信箱,621900;
X光多层膜镜; 反射率; 激光等离子体;
机译:经过界面工程设计的超短周期Cr-Ti多层膜,可作为高反射率反射镜和偏振器,用于波长为2.74 nm的软X射线
机译:基于软X射线反射率和驻波增强X射线荧光的Cr / Sc基多层反射镜研究
机译:用软X射线反射率测量表征溅射的镍/碳多层膜
机译:多光谱太阳望远镜阵列II:多层反射镜的软X射线/ EUV反射率
机译:用于多层反射镜的EUV /软X射线区域中材料的光学常数。
机译:用于MAX parallelIV的软X射线束线的五轴平行运动反射镜单元
机译:软X射线分束器和高色散多层反射镜用作软X射线激光腔组件
机译:使用软X射线多层膜反射镜的软X射线多层膜反射镜和具有投影光学系统的曝光设备
机译:软X射线多层膜反射镜和软X射线反射光学系统
机译:多层膜去除处理器,多层膜反射镜,其生产方法,软X射线光学系统和曝光设备
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