一种采用平面微线圈的GMR-MEMS集成弱磁传感器

摘要

一种采用平面微线圈的GMR-MEMS集成弱磁传感器，其中微压电桥的基座包括第一基座和第二基座，基座定在垫片上，垫片固定在绝缘基底上，桥身连接于第一基座和第二基座之间；压电片设置于桥身上并位于第一基座和第二基座之间；GMR敏感元件设置在桥身的下方并呈对称状布置，GMR敏感元件中磁力线聚集器包括第一磁力线聚集器和第二磁力线聚集器且之间留有间隙，GMR电阻包括构成惠斯通电桥的第一GMR电阻、第二GMR电阻、第三GMR电阻和第四GMR电阻，第一GMR电阻位于第一磁力线聚集器内，第二GMR电阻位于第二磁力线聚集器内，第三GMR电阻和第四GMR电阻位于间隙内；调制膜连接于桥身上处于与调制膜正对的位置处。本发明具有结构简单、噪声小、成本低廉、磁滞低等优点。