采用原位微真空传感器的微测辐射热计红外焦平面列阵

摘要

微测辐射热计红外探测器一旦被确定用于某一项具体应用，它们就要用芯片级或晶片级技术以真空方式封装在非常小的封壳内。但是，目前在市场上还买不到用于监测已封装好的微测辐射热计红外探测器的真空度的仪器。因此，器件的可靠性就不能完全得到保证。