法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-04-17
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 1/44 授权公告日:20131106 终止日期:20170330 申请日:20070330
专利权的终止
2016-10-19
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 1/44 变更前: 变更后: 申请日:20070330
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2016-10-19
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 1/44 变更前: 变更后: 申请日:20070330
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2013-11-06
授权
授权
2013-11-06
授权
授权
2008-08-20
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-08-20
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-10-03
公开
公开
2007-10-03
公开
公开
查看全部
机译: 图案缺陷检查方法,图案缺陷检查测试图案基板,图案缺陷检查装置,光掩模制造方法和显示装置基板制造方法
机译: 图案缺陷的检查方法,图案缺陷的检查装置,光掩模的制造方法以及显示装置的基板的制造方法
机译: 图案缺陷检查方法,图案缺陷检查设备,光掩模产品制造方法和显示装置基板制造方法