具有三角型排列源区的屏蔽栅沟槽型晶体管及其制备方法

摘要

本申请是关于一种具有三角型排列源区的屏蔽栅沟槽型晶体管，包括：衬底区、漂移区、基体区、源区、屏蔽栅、控制栅、绝缘层、源极、漏极以及金属栅极；漂移区、基体区和源区依次设置在衬底区顶部，漏极位于衬底区底部；控制栅和屏蔽栅由上至下依次设置在漂移区的侧方，并通过绝缘层分别与漂移区、基体区和源区相接；源区包括P型源区和N型源区；P型源区为横截面呈三角形的三角型源区，三角型源区的顶角与绝缘层相接；N型源区包括第一N型源区和第二N型源区；第一N型源区和第二N型源区分设在顶角的两边，并分别与绝缘层相接。本申请提供的方案，能够有效地抑制寄生三极管开启，有效地提高雪崩耐量。