公开/公告号CN114004180A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-02-01
原文格式PDF
申请/专利号CN202111170070.8
申请日2021-10-08
分类号G06F30/327(20200101);G06F30/33(20200101);G06F119/02(20200101);
代理机构44224 广州华进联合专利商标代理有限公司;
代理人董婷婷
地址 511300 广东省广州市增城区朱村街朱村大道西78号
入库时间 2023-06-19 14:05:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-02-01
公开
发明专利申请公布
机译: 关键路径测试方法,集成电路设备,关键路径测试系统以及制造集成电路设备的方法
机译: 通过减少关键路径中每个步骤所需的时间,设备的制备方法和计算机程序来改善多阶段光刻设备的吞吐量的光刻设计设备
机译: 测试结果分析方法和测试结果分析装置,异常设备检测方法和异常设备检测装置,使计算机执行测试结果分析方法和异常设备检测方法的程序,以及使用该程序记录的计算机可读记录介质