物体定位器、用于校正物体形状的方法、光刻设备、物体检查设备、装置制造方法

摘要

本发明提供一种物体定位器，包括：具有物体支撑表面的物体支撑件，该物体支撑表面被配置为接合物体的至少一部分，所述物体支撑表面具有支撑表面温度；热装置，该热装置被配置为向物体的至少一部分提供第一物体温度，该第一物体温度与支撑表面温度相差第一预定温差。