用于冷却沉积区域的冷却系统，用于进行材料沉积的布置，以及在基板上进行沉积的方法

摘要

一种设置在真空腔室中的用于冷却沉积区域的冷却系统，包括主动冷却装置，主动冷却装置包括第一表面和第二表面；第一表面布置在第二表面及沉积区域之间，且热交换器配置成用以通过将热量从第一表面传递离开而主动地冷却第一表面。一种用于在基板上进行材料沉积的布置，包括：沉积源，用于在沉积区域的基板上进行材料沉积；冷却系统，具有第一主动冷却装置，第一主动冷却装置具有主动冷却的第一表面及热交换器，热交换器配置成用以将热量从第一表面传递离开；由此，主动冷却的第一表面配置成用以将冷却负荷从沉积区域传递离开；和冷却布置，具有第二主动冷却装置，第二主动冷却装置配置成用以减少来自沉积源的热辐射。