公开/公告号CN112161450A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-01-01
原文格式PDF
申请/专利权人 江苏晶品新能源科技有限公司;
申请/专利号CN202010961431.X
申请日2020-09-14
分类号F26B11/18(20060101);F26B25/18(20060101);F26B25/02(20060101);
代理机构11427 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人艾秀丽
地址 225600 江苏省扬州市高邮市送桥镇天山工业集中区
入库时间 2023-06-19 09:23:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-04-07
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):F26B11/18 专利申请号:202010961431X 申请公布日:20210101
发明专利申请公布后的驳回
机译: 用于生长单晶硅片和单晶硅片的方法,由于硅晶片中的氧气浓度不均匀,该单晶硅片和单晶硅片能够降低失效率
机译: “一种用于在传统干燥带式炉中干燥/固化硅片上筛网图案的装置,以防止硅片直接与带接触,从而消除硅片的污染”
机译: 硅单晶硅片,评估其中的氧沉积物的面内均匀性的方法以及硅单晶的制造方法