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一种单晶硅片干燥用烘干均匀的烘箱

摘要

本发明涉及单晶硅片技术领域,且公开了一种单晶硅片干燥用烘干均匀的烘箱,包括烘箱本体,所述烘箱本体的底部固定安装有固定脚,所述烘箱本体的前表面固定安装有安装块,所述安装块的内侧转动连接有转动盖板,所述烘箱本体的内部固定安装有烘干器,所述烘箱本体的前表面开设有连接槽,所述连接槽的内部滑动连接有连接架,所述连接架的顶部固定安装有连接底板,所述连接底板的顶部固定安装有第一安装架,所述第一安装架的内侧转动连接有转动块。该单晶硅片干燥用烘干均匀的烘箱,当使用者在使用时,使用者首先可以调节连接架在连接槽的作用下向前侧滑动,从而使该装置具备方便供料的优点,方便了使用者使用。

著录项

  • 公开/公告号CN112161450A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-01-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 江苏晶品新能源科技有限公司;

    申请/专利号CN202010961431.X

  • 发明设计人 陈春成;戚建静;

    申请日2020-09-14

  • 分类号F26B11/18(20060101);F26B25/18(20060101);F26B25/02(20060101);

  • 代理机构11427 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人艾秀丽

  • 地址 225600 江苏省扬州市高邮市送桥镇天山工业集中区

  • 入库时间 2023-06-19 09:23:00

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-04-07

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):F26B11/18 专利申请号:202010961431X 申请公布日:20210101

    发明专利申请公布后的驳回

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