公开/公告号CN111693648A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-09-22
原文格式PDF
申请/专利权人 寰宇国际地球资讯有限公司;
申请/专利号CN202010460673.0
发明设计人 邓秀明;
申请日2020-05-27
分类号G01N33/00(20060101);G01N15/06(20060101);
代理机构11266 北京工信联合知识产权代理有限公司;
代理人白晓晰
地址 中国台湾台北市内湖区内湖路二段179巷46弄49号2F
入库时间 2023-06-19 08:20:46
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-12-13
授权
发明专利权授予
机译: 微型压电空气泵,以产生用于移液管设备的无脉动空气流量接近感测
机译: 微型压电空气泵,以产生用于移液管设备的无脉动空气流量接近感测
机译: 光刻设备压实上升了内部传感器和微型反应器以及用于处理光刻设备的内部传感器的感测表面的方法。