一种多晶硅薄膜的制备方法及其产物和包含该多晶硅薄膜的太阳能电池

摘要

本发明提供了一种多晶硅薄膜的制备方法，其特征在于，包括：(a)沉积非晶硅薄膜；(b)采用脉冲光照射上述非晶硅薄膜，使其晶化。本发明还提供了上述制备方法的产物和包含该产物的太阳能电池。本发明处理温度低，处理时间短，可有效减少非晶硅薄膜中的杂质元素扩散，减少对相邻层材料的破坏和影响，使器件获得较优性能。