一种提高大口径菲涅耳波带片衍射效率的方法

摘要

本发明公开了一种提高大口径菲涅耳波带片衍射效率的方法，该方法提出了混合多台阶的制作方法，所做出的菲涅尔波带片的衍射效率大幅提高。包括如下步骤：根据菲涅耳波带片上区域i的设计线宽Li和光刻机加工的最小线宽l0确定区域i对应的台阶数2n；在石英玻璃基板上制备光刻胶掩模结构；进行第一次离子束刻蚀，在对应台阶数为2的区域加工出2台阶结构；清洗光刻胶，进行第一次套刻加工；进行第二次离子束刻蚀，在对应台阶数为4的区域加工出4台阶结构；清洗光刻胶，进行第二次套刻加工；依次类推，直至所有区域加工完成为止。刻蚀完成后，去除光刻胶，获得多台阶混合的多台阶菲涅耳波带片。