基于原子层沉积技术制备超大高宽比X射线菲涅尔波带片

目录

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致谢

1 绪论

1.1 课题背景及研究意义

1.2 X射线显微成像技术分类

1.2.1 全场透射式X射线显微成像技术

1.2.2 扫描透射式X射线显微成像技术

1.2.3 其他X射线显微成像技术

1.3 X射线显微成像技术的应用

1.4 X射线波带片的发展历程

1.4.1 软X射线波带片

1.4.2 硬X射线波带片

1.5 X射线波带片加工方法

1.5.1 激光全息曝光技术

1.5.2 电子束光刻与金属电镀技术

1.5.3 电子束光刻与原子层沉积技术

1.5.4 溅射切片技术

1.6 本文的主要研究内容

2 X射线波带片的环带结构与设计

2.1 引言

2.2 X射线波带片的基本原理

2.2.1 基本参数

2.2.2 X射线波带片衍射效率研究

2.2.3 X射线波带片空间分辨率研究

2.3 X射线波带片的叠层材料选择

2.4 X射线波带片的环带结构

2.5 本章小结

3 原子层沉积制备X射线波带片叠层结构

3.1 引言

3.2 原子层沉积技术制作X射线波带片的技术路线

3.3 原子层沉积技术简介

3.4 原子层沉积技术制备X射线波带片叠层氧化物薄膜

3.4.1 实验所用试剂与设备

3.4.2 X射线波带片叠层材料薄膜生长特性研究

3.5 原子层沉积制备多层膜环带结构

3.5.1 电化学腐蚀法制备X射线波带片中心钨丝衬底

3.5.2 等离子体加热法制备X射线波带片中心SiO2衬底

3.5.3 软、硬X射线波带片多层膜结构的制备

3.6 本章小结

4 聚焦离子束切割抛光波带片技术研究

4.1 聚焦离子束微纳加工技术原理

4.2 聚焦离子束加工设备简介

4.3 聚焦离子束加工多层膜工艺

4.4 本章小结

5 X射线波带片聚焦成像性能研究

5.1 聚焦成像测试平台

5.2 聚焦成像测试方法和结果

5.3 本章小结

6 总结与展望

参考文献

作者简历及攻读硕士/博士学位期间取得的研究成果

独创性声明

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