多元正交设计方法综合决策菲涅耳全息图的衍射效率

摘要

提出采用多元正交设计的方法对全息图的衍射效率进行综合决策，对曝光量、光束比、显影时间、显影液深度等主要制作条件进行正交表头设计，多因子方差分析，从而选定出影响全息图衍射效率的显著性因子，确定最佳工艺水平以及变动半径。