公开/公告号CN106292176A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-01-04
原文格式PDF
申请/专利权人 西安立芯光电科技有限公司;
申请/专利号CN201610877076.1
申请日2016-09-30
分类号G03F1/42;G03F9/00;
代理机构西安智邦专利商标代理有限公司;
代理人胡乐
地址 710077 陕西省西安市高新开发区丈八六路56号2号楼1层
入库时间 2023-06-19 01:20:05
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-02-01
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F1/42 申请日:20160930
实质审查的生效
2017-01-04
公开
公开
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