基于微纳尺度材料光机电系统的超高灵敏度振动传感器

摘要

本发明涉及振动测量技术领域，公开了一种基于微纳尺度材料光机电系统的超高灵敏度振动传感器。其包括：光路系统，其用于产生检测光束；感振阵列，其包括基座和设置在基座上的用于感应振动状态的感振片，其中感振片构造成用于接收检测光束并形成反射光束；采集单元，其用于采集反射光束的位置信息从而生成偏移信号；以及处理单元，其用于接收偏移信号，从而根据反射光束的位置信息解析出所述振动状态。本发明能够较为敏感地测量出亚微米级别幅度的振动，即能够较佳地探测出大于等于10-8G量级(或10-9m/s2)的加速度，从而能够较佳地满足高灵敏度、高精度的振动信号测量需求。