第一章 绪论
1.1 课题研究的背景及意义
1.2 传输机器人的发展和研究现状
1.2.1 传输机器人的发展历程
1.2.2 传输机器人的研究现状
1.3 机器人轨迹规划研究现状
1.4 多尺寸料片的位置预校正研究现状
1.5 课题研究的内容
1.6 本章小结
第二章 传输机器人的运动分析
2.1 传输机器人三维结构建模
2.2 传输机器人末端手臂伸缩模型
2.3 运动学分析
2.3.1 建立D-H坐标系
2.3.2 正逆运动学方程推导
2.4 动力学分析
2.5 本章小结
第三章 传输机器人关节空间轨迹规划
3.1 轨迹规划概述
3.2 轨迹规划的插值函数
3.2.1 三次多项式插值
3.2.2 五次多项式插值
3.3 MATLAB简介
3.4 机器人关节仿真
3.4.1 三次多项式插值仿真
3.4.2 五次多项式插值仿真
3.5 本章小结
第四章 传输机器人的避障实现
4.1 避障规划问题简述
4.2 避障方式描述
4.3 避障仿真实现
4.3.1 回原点避障仿真
4.3.2 同时避障仿真
4.3.3 仿真结果比较
4.4 本章小结
第五章 多尺寸料片的位置预校正
5.1 多尺寸料片位置预校正的原理
5.1.1 晶圆形心定位原理
5.1.2 晶圆缺口定位原理
5.1.3 陶瓷基板位置校正原理
5.2 多尺寸料片位置预校正装置结构
5.2.1 晶圆位置预校正系统
5.2.2 陶瓷基板位置预校正系统
5.3 位置预校正实验结果
5.4 本章小结
总结与展望
参考文献
攻读硕士期间发表论文
声明
致谢
