法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-12-11
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G03F7/004 申请公布日:20120523 申请日:20100701
发明专利申请公布后的视为撤回
2012-07-11
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/004 申请日:20100701
实质审查的生效
2012-05-23
公开
公开
机译: 功能梯度型无机抗蚀剂,功能梯度型无机抗蚀剂涂布基板,具有圆筒状基材的功能梯度型无机抗蚀剂,功能梯度型无机抗蚀剂的形成方法和精细图案形成方法
机译: 形成精细图案形成方法的方法和功能梯度型无机抗蚀剂,功能梯度型无机抗蚀剂涂布的基材,具有圆柱形基材的功能梯度型无机抗蚀剂,功能梯度型无机抗蚀剂及其制备方法和无机抗蚀剂
机译: 功能梯度无机抗蚀剂,具有功能梯度无机抗蚀剂的基质,具有功能梯度无机抗蚀剂的圆筒形基质,形成功能梯度无机抗蚀剂的方法,形成精细图案的方法以及产品