一种新颖的正型化学增幅型i-线分子玻璃抗蚀剂

摘要

分子玻璃光致抗蚀剂材料因其具有单分散性、无定形性、可获得高分辨率图形及低线边缘粗糙度等优点，已受到了较大的关注。本文设计并合成了一种新颖的正型化学增幅型i-线分子玻璃抗蚀剂材料，这种分子玻璃化合物易溶于常用的有机溶剂，同时具有良好的成膜性，其组成的i-线光致抗蚀剂的曝光成像试验获得了较高的感度和分辨率。