激光烧蚀电感耦合等离子体质谱原位统计分布分析系统

摘要

一种激光烧蚀电感耦合等离子体质谱原位统计分布分析系统，属于材料分析表征技术领域。包括激光烧蚀进样系统、ICP离子源系统、接口系统、离子传输系统、质谱检测系统、连续激发同步扫描的样品移动/定位系统和对采集到的质谱信号进行数学解析的信号处理系统。基于样品的连续激发同步扫描移动/定位和激光烧蚀ICP-MS的、可以实现金属或非金属材料非平整表面大尺度范围内化学成分及其状态的原位统计分布分析。优点在于，既可以用于金属样品，又适用于非金属样品；可分析低至0.1μg/g元素的含量和分布；比金属原位分析仪的灵敏度提高3个数量级；既适用于表面规则平整的样品，也适用于不规则或异型面样品。