激光烧蚀电感耦合等离子体质谱应用于断口表面元素原位统计分布分析表征

摘要

通过LA-ICP-MS对标准样品表面进行四点定点分析,从而得到工作曲线。再利用得到的工作曲线对断口表面进行扫描分析,用样品移动台的精确定位得到样品表面的位置信息,用激光器的聚焦位置来模拟样品表面的深度信息,描述了样品的表面形貌,从而得到样品表面元素原位统计分布分析状况。实现了对非平面表面元素的原位统计分布分析表征。