提供纳米级、高度选择性和热弹性硅、锗或硅－锗蚀刻终止层的系统和方法

摘要

本发明涉及一种方法和所得的包含硅－锗层和所述硅－锗层内的掺杂剂层的蚀刻终止层。所述硅－锗层包含小于约70％的锗且含有选自由硼和碳组成的群组的一种或一种以上掺杂剂元素。所述掺杂剂层具有所述掺杂剂元素中的一种或一种以上和小于50纳米的FWHM厚度值。