包括电流扩散层的氧化型VCSEL及其制造方法

摘要

本发明涉及一种垂直腔面发射激光器(VCSEL)及其制造方法，更详细地涉及一种发射峰值波长为860nm的激光的高效氧化型垂直腔面发射激光器及其制造方法。根据本发明的氧化型垂直腔面发射激光器的特征在于，在上部电极与下部分布式布拉格反射器之间包括至少一部分具有高掺杂区域的电流扩散层。