无机聚合物隔膜等离子增强化学气相沉积系统组态

摘要

本发明公开提供无机聚合物隔膜等离子增强化学气相沉积系统组态，直线式相对的设置，中间用一自动交换区将相对设置的系统隔离呈两的部份；该异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统组态依序包含加载区、自动交换区、第一承载室、第一反应室、第二反应室、第二承载室、第三反应室、第四反应室及卸载区，呈直线且相对组态设置，此设置可形成一个整体组态完成异质结太阳能电池硅衬底正面及反面的薄膜沉积，此种设置对于未来产能扩充具有极大的弹性，只要将自动交换区加长，即可在设置相同的一个完整的组态。在上述无机聚合物隔膜等离子增强化学气相沉积系统组态整体设制成直线型，自动交换区内设置正压式惰性气体循环系统，无需再另行设置洁净度高的区域来防止环境的污染，有效降低生产成本。