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用于辅助调整射束扩展器的方法、调整辅助设备以及射束扩展器

摘要

一种用于辅助调整射束扩展器(100)的方法,该射束扩展器具有:带有光入射开口(104)和光出射开口(108)的接纳管(102)和至少一个光学元件(200,202,204),该光学元件设在该光入射开口与出射开口之间的射束路径中以改变经由该光入射开口(104)输入的射束(106)的直径。在该方法中,通过测量与该接纳管(102)耦合的参考面(114)确定该射束(106)沿该射束扩展器(100)光轴(110)的额定位置,通过测量该射束(106)相对该接纳管(102)横截面的能量分布确定该射束(106)沿该光轴(110)的实际位置。通过对比该实际位置与该额定位置,获取在该实际位置与该额定位置之间的偏差值。最后在使用该偏差值时,输出辅助信息(124),以便进行调整时辅助使用者。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-05-15

    实质审查的生效 IPC(主分类):G02B27/09 申请日:20180530

    实质审查的生效

  • 2020-02-14

    公开

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