用于调整激光射束的方法、用于提供经调整的激光射束的设备和光学布置

摘要

本发明涉及一种用于调整激光射束(1)的方法，包括：借助探测器装置(6)的至少一个优选地点分辨的探测器(6a)来测量在穿过射束成形装置(4)之后激光射束(1)的射束轮廓(15，16)；基于所测量的射束轮廓(15，16)，求取所述激光射束(1)的射束质量特性(D)；以及调节可调设的光学器件(5)，以在所述激光射束(1)进入所述射束成形装置(4)之前改变其至少一个特性；其中，为了调整所述激光射束(1)，根据所求取的射束质量特性(D)尤其是多次调节所述可调设的光学器件(5)，优选直到所述射束质量特性(D)达到预给定的值(DS)。本发明还涉及一种用于提供经调整的激光射束(1)的设备(3a)和一种极紫外辐射产生设备。