公开/公告号CN103779266A
专利类型发明专利
公开/公告日2014-05-07
原文格式PDF
申请/专利权人 南亚科技股份有限公司;
申请/专利号CN201210404030.X
申请日2012-10-22
分类号H01L21/768;G03F1/38;
代理机构深圳新创友知识产权代理有限公司;
代理人江耀纯
地址 中国台湾桃园县
入库时间 2024-02-20 00:02:49
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-04-12
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/768 申请公布日:20140507 申请日:20121022
发明专利申请公布后的视为撤回
2014-06-11
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/768 申请日:20121022
实质审查的生效
2014-05-07
公开
公开
机译: 3D互连结构,包括细间距单金属镶嵌背面金属再分布线和硅通孔
机译: 3D互连结构,包括硅通孔和使用双镶嵌类型方法制造的细间距背面金属重新分布线
机译: 3D互连结构,包括硅通孔和使用双镶嵌类型方法制造的细间距背面金属重新分布线