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第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
召开年:
1999
召开地:
长沙
出版时间:
1999-11
主办单位:
中国电子学会
会议文集:
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1.
离子束传输中几个特征参数的测量
龙会跃
《第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会》
|
1999年
摘要:
讨论了在离子注入机中的束流强度、束径、束发身角等几个参数的测量原量和方法,并简要介绍了已设计过的几种测试装置。
束流强度;
束径;
束发射角;
测量;
测试装置;
2.
微波离子源工作特性分析
戴习毛
《第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会》
|
1999年
摘要:
从微波离子源放电机理出发,结合调试实验工作分析研究了微波离子源波传输、工作气压、磁场分布及引出系统等因素的工作特性,说明了微波离子源的技术特点。
微波离子源;
ECR等离子体;
微波传输;
微波介质窗;
工作气压;
磁场分布;
引出系统;
3.
离子注入实现的MQW混合蓝移效应
朱洪亮
;
汪孝杰
;
王圩
;
韩德俊
《第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会》
|
1999年
摘要:
用P〈’+〉离子注入InGaAs/InGaAsP应变多量子阱激光器结构,再经H〈,2〉/N〈,2〉混合气氛下的快速退火,体内MWQ层中发生组份混合,导致激光器件的激射波长蓝移77.9mm,而未作注入的纯退火区器件蓝移只有5.2mm。
诱导蓝移;
多量子阱;
激光器;
4.
X光学的新成就-X光透镜及其应用
颜一鸣
;
赫业军
;
丁训良
;
陈俊
;
李玉德
《第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会》
|
1999年
摘要:
X光透镜是90年代兴起的一项X光高新技术,它由X光导管组合而成,它可以聚集X光源产生的发散X光并形成高功率密度的会聚X光束和平行X光束,从而成为人类唯一的大功率宽波段X光束调控手段。X光透在各基础学科和国民经济诸领域有广泛的应用。介绍了北京师范大学低能核物理研究所X光学实难室的X光透镜的主要性能及几年来在X光分析领域中应用开发的进展,并对今后的发展作一展望。
X光;
X光透镜;
5.
DB7电子束曝光机在亚微光曝中的应用
张俊国
;
周开宇
;
郭忠君
;
彭立波
《第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会》
|
1999年
摘要:
介绍DB7电子束曝光机制作2英寸GaAs单片集成电路掩模板图形情况和结果,并结合机器性能特点、关键性措施等对亚微光曝光图形精度的保证进行了深入的讨论。
邻近效应;
相移掩模;
直接光刻;
6.
DB7亚微米电子束曝光机计算机控制系统
郭忠君
《第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会》
|
1999年
摘要:
介绍了DB7亚微米电子束曝光机的计算机控制系统,重点介绍其技术要求、硬件结构和软件功能。
电子束曝光;
计算机控制;
硬件;
软件;
7.
DB7亚微米电子束曝光机的电定位检测与修正程序设计
刘东明
;
邱小莎
;
曾岳阳
《第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会》
|
1999年
摘要:
介绍了DB7-亚微米电子束曝光机上电定位检测与修正程序的目的和原理,并叙述了该程序的设计思想和具体实现。
电子束曝光机;
电定位;
检测;
修正;
8.
可变矩形电子束曝光机光阑形态的调整
张建宏
;
梁俊厚
;
陈宝钦
;
刘明
;
李友
;
张卫红
《第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会》
|
1999年
摘要:
介绍利用自行设计的检测图形,检测可变矩形束曝光机成形光阑形态,描述了成形光阑的调整方法,而成形光阑形态、位置的正确与否直接关系到器件和电路芯的制作质量。通过大量实验检测证实,应用此检测图形检测快捷、使用方便、检测精度高。
可变矩形束电子束曝光机;
成形方光阑;
9.
21世纪的硅微电子技术
王阳元
;
张兴
《第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会》
|
1999年
硅微电子技术;
硅基CMOS电路;
集成系统;
10.
离子注入机国内外现状及发展动态
杨洪普
《第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会》
|
1999年
摘要:
简述了离子注入机的应用发展,并详细分析了该领域的技术发展方向;概述了离子注入国内外现状和发展趋势,并阐述了发展的重要意义。
离子注入机束流能量均匀性;
11.
利用智能剥离(Smart cut)技术形成SOI材料的研究
李映雪
;
张志宽
;
张兴
;
王阳元
《第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会》
|
1999年
摘要:
Smart cut是继BESOI技术之后发展起来的新型智能剥离技术,它解决了BESOI技术中减薄的困难同时兼顾了SIMOX技术和键合技术的优点,利用智能剥离技术形成SOI材料的一些关键问题,如注氢剂量,能量的选择,键合前的亲水处理等作了一些研究。得到了最佳的注氢剂量,能量以及亲水处理方法。在3英寸硅片上成功地实现了智能剥离。
SOI;
离子注入;
键合;
智能剥离;
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