接近销、基底处理装置及在基底处理装置中处理基底的方法

摘要

一种用于在基底处理装置中支撑基底(8)的接近销(10)，包括销头部(1)和支撑垫部(6)。所述销头部(2)构造为在所述基底处理装置中支撑所述基底(8)，并且包括第一端(E1)和与第一端(E1)相对的第二端(E2)。所述第一端(E1)构造为与放置在所述接近销(10)上的所述基底(8)接触。所述支撑垫部(6)在所述销头部(1)的第二端(E2)连接至所述销头部(1)，并且所述支撑垫部的直径大于所述销头部(1)最大直径的直径。