公开/公告号CN110114860A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-08-09
原文格式PDF
申请/专利权人 弗劳恩霍夫应用研究促进协会;
申请/专利号CN201780077987.9
发明设计人 罗伯特·维兰德;
申请日2017-10-16
分类号
代理机构北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人宋融冰
地址 德国慕尼黑
入库时间 2024-02-19 13:13:10
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-09-03
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/3065 申请日:20171016
实质审查的生效
2019-08-09
公开
公开
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