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机译:一种采用改进的博世工艺进行锥形深反应离子刻蚀的方法
机译:一种采用改进的博世工艺进行锥形深反应离子刻蚀的方法
机译:使用改进的博世工艺对热电堆结构进行深硅蚀刻
机译:液相渗透法制备有序结构金属氧化物薄膜的深反应离子刻蚀(Deep-RIE)工艺
机译:在大学/商业实验室混合环境中使用Bosch深度反应离子蚀刻工艺进行硅微加工
机译:使用灰度光刻和深反应离子刻蚀开发深硅相菲涅耳透镜
机译:低温和博世深反应离子蚀刻的元表面制造
机译:使用深反应离子蚀刻和灰度曝光,光掩模图案化用于坡度深蚀刻