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样品台及透射模式电子背散射衍射（T-EBSD）系统和方法

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本发明提供了样品台及透射模式电子背散射衍射（T-EBSD）系统和方法。T‑EBSD系统包括：样品台，具有位于样品台的一端的夹具，夹具用于固定样品；探测器，用于接收透过样品的透射电子。通过采用本发明的系统和方法，可以提高分辨率。本发明的T‑EBSD样品台的设计实现了薄膜样品与水平面间夹角在30‑70°连续可调，并且薄膜样品可稳定固定于倾斜表面。

著录项

公开/公告号CN109709121A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-05-03

原文格式PDF
申请/专利权人内蒙古科技大学;
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申请/专利号CN201910166743.9
发明设计人霍文霞;张磊;
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申请日2019-03-06
分类号G01N23/203(20060101);G01N23/20008(20180101);G01N23/22(20180101);G01N23/2206(20180101);
代理机构11562 北京东方盛凡知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人宋平
地址 014010 内蒙古自治区包头市昆都仑区阿尔丁大街七号
入库时间 2024-02-19 09:31:11

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-05-28

实质审查的生效 IPC(主分类):G01N23/203 申请日:20190306

实质审查的生效
2019-05-03

公开

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