晶圆键合能检测装置以及晶圆键合能的测量方法

摘要

一种晶圆键合能检测装置以及晶圆键合能的测量方法，晶圆键合能检测装置包括：液槽，用于放置待测物体和液体，所述待测物体包括相互键合的第一晶圆和第二晶圆；超声波探头，用于发射第一超声波，并获取自待测物体表面反射或透射回的第二超声波；数据处理单元，用于通过所述第二超声波获取第一晶圆和第二晶圆之间的键合能。所述晶圆键合能检测装置自动测量键合能，减小了测量过程中的误差提高了量测晶圆键合能的准确性。