ディスプレイを支えるキーマテリアル：フィールドエミッションディスプレイ(FED)

摘要

FED開発の技術課題としては，(a)高効率で安定動作するFEAの実現(b)高効率·長寿命蛍光体の開発(c)スペーサ，収束電極等のFED構造(d) FEA特性の劣化しない真空封止プロセス·真空筐体開発などが挙げられる．最大の技術課題は，(a)の高効率で安定に動作するFEAの実現であり，開発研究の大部分がここに集約されてきた．本稿では，真空マイクロ·ナノエレクトロニクスの最近の研究開発状況及びFEDを中心とした応用等について述べる．