DFFCを用いた薄膜試料の面抵抗値の推定法

摘要

マイクロ波帯におけるSE（シールド効果）の測定法として，DFFC（2焦点型扁平空洞）を使用した測定法が提案されている．SEは電磁波の減衰量であり，その測定結果は測定装置特有の値となる．そのため，測定法に依存しない面抵抗値で試料を評価することが望ましい．本論文では，DFFCを用いて測定したSEから，逆問題として試料の等価的な面抵抗値を推定した．本手法により推定された面抵抗値の標準偏差は1～13GHzの範囲で3.7～13.7％となり，同軸線路を用いた場合に比べ安定的な測定が可能であることがわかった．