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DFFCを用いた薄膜試料の面抵抗値の推定法

机译:基于DFFC的薄膜样品薄层电阻估算方法。

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摘要

DFFC (Dual Focus Flat Cavity) method is proposed to measure the SE (Shielding Effectiveness) at microwave frequency range. SE is the attenuation ratio of electromagnetic wave, and the value depends on the measurement setup. Therefore, the parameters inherent to the material such as the sheet resistance should be evaluated. In this paper, we estimate the sheet resistance of the material by solving the inverse problem from the measured SE by using DFFC. Our method is found that the standard deviation of the estimated values of the sheet resistance was 3.7~13.7 % in the frequency range from 1 to 13 GHz.%マイクロ波帯におけるSE(シールド効果)の測定法として,DFFC(2焦点型扁平空洞)を使用した測定法が提案されている.SEは電磁波の減衰量であり,その測定結果は測定装置特有の値となる.そのため,測定法に依存しない面抵抗値で試料を評価することが望ましい.本論文では,DFFCを用いて測定したSEから,逆問題として試料の等価的な面抵抗値を推定した.本手法により推定された面抵抗値の標準偏差は1~13GHzの範囲で3.7~13.7%となり,同軸線路を用いた場合に比べ安定的な測定が可能であることがわかった.
机译:提出了DFFC(双焦点平面腔)方法来测量微波频率范围内的SE(屏蔽效果).SE是电磁波的衰减比,其值取决于测量设置。在那里,材料固有的参数例如在本文中,我们通过使用DFFC解决了测得的SE的反问题,从而估计了材料的薄层电阻。我们的方法发现,薄层电阻估计值的标准偏差为在1至13 GHz的频率范围内为3.7〜13.7%。%作为测量微波频带中SE(屏蔽效应)的方法,已提出了使用DFFC(两焦点平腔)的测量方法。 SE是电磁波的衰减,测量结果是测量设备特有的值。因此,期望以不依赖于测量方法的薄层电阻值来评价样品。在本文中,样品的等效薄层电阻由使用DFFC测量的SE估计为一个反问题。通过这种方法估算的薄层电阻值的标准偏差在1至13 GHz的范围内为3.7至13.7%,这表明与使用同轴线的情况相比,可以进行稳定的测量。

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