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第八届真空技术应用学术年会

召开年：2005
召开地：厦门
出版时间： 2005-04

主办单位：中国电子学会

会议文集：第八届真空技术应用学术年会论文集

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1.FeSiAl微波衰减涂层电磁特性分析
- 张永清;丁耀根;阴生毅;黄云平;周小攀
- 《第八届真空技术应用学术年会》 | 2005年
摘要：本文采用矢量网络分析仪对FeSiAl微波衰减涂层的电磁参数进行了测试,通过利用电磁波衰减理论进行分析,搞清了FeSiAl微波衰减涂层的衰减类型以及FeSiAl涂层具有优异衰减特性的实质.分析表明:FeSiAl涂层对微波衰减损耗属于以磁衰减为主,伴有少量电衰减的复合衰减类型;FeSiAl涂层具有优异衰减特性的实质,在于材料本身不仅具有较强的磁损耗特性,而且还具有很高的介电常数值,从而使得涂层的电磁波衰减常数值α达到了很高的数值.
2.真空泵的市场展望
- 王斌
- 《第八届真空技术应用学术年会》 | 2005年
摘要：真空设备已广泛应用于科研、军事、经济领域,作为真空设备最基础的元件之一真空泵,也从单一的行业应用到经济发展的各行各业.本文简单介绍了真空泵市场的发展状况，以及国内、外真空泵发展现状。
3.大功率速调管冷却水套内水蒸气的影响
- 赵金玉;赵海鹏;邓峰;魏作振
- 《第八届真空技术应用学术年会》 | 2005年
摘要：本文通过大功率速调管真空烘烤排气过程中,对外真空系统真空度与时间的变化曲线对比,分析了由于速调管水套内冷却水处理不彻底而给真空系统带来的不良后果,同时也会给速调管的工作性能带来不良的影响.
4.4'扁平管生产和制造过程中排气的质量管理
- 李静
- 《第八届真空技术应用学术年会》 | 2005年
摘要：随着近代科学技术的进步,扁平管在国内得到蓬勃的发展.由于它的体积小、重量轻,在安防系统中得到了广泛的应用.特别是近几年,由于生活水平的提高,人们在不断追求物质生活的同时,对精神上的生活要求也越来越高,所以现在在新建的楼宇中,可视门铃无疑成为一个新的亮点,并在安全生活保障上扮演了重要的角色.有鉴于此,可视门铃的诞生和发展将随着社会的发展走进千家万户.俗话说的好,"麻雀虽小,但五脏俱全".扁平管和它有着异曲同工的道理,本文主要讨论了扁平管在生产和制造过程中的质量管理--排气的质量管理。
5.磁控溅射沉积PZT/Pt薄膜异质结构的研究
- 郭杰;王静宇;李振豪
- 《第八届真空技术应用学术年会》 | 2005年
摘要：在SiO2/Si衬底上采用直流磁控溅射沉积复合金属薄膜Pt/Ti作为电极,薄膜电导率高,结构致密且表面无空洞等缺陷;在Pt/Ti/SiO2/Si结构衬底上采用射频磁控溅射沉积锆钛酸铅薄膜(Pb(Zr1-xTix)O3,PZT),经退火后结晶形成具有热释电性质的钙钛矿结构薄膜,热释电系数达到1.1531×10-8Ccm-2k-1.
6.彩色显像管生产中荫罩黑化的对策
- 张伟
- 《第八届真空技术应用学术年会》 | 2005年
摘要：本文主要从黑化的原理分析入手,结合生产实际,阐述黑化膜发红的机理,再将与此相关的设备、工艺、环境、来料等可能引起不良的因素一一进行分析,从而逐个排除、对策,使黑化膜发红、脱落大大降低,处于受控状态.
7.小功率照明金卤灯制备中若干问题的探讨
- 陈平;周荣楣
- 《第八届真空技术应用学术年会》 | 2005年
摘要：金卤灯是一种在高温电弧管中金属卤化物分解成金属和卤原子,金属原子(或分子)参与发光,在电弧管管壁处,金属和卤素又生成卤化物,从而在电弧管中进行循环反应的新型电光源.目前,国内外的电光源厂家顺应这一潮流,都在大力研究、开发这类系列产品,其势头方兴未艾.为此,本文对小功率金卤灯制备中的有关问题进行了探讨。
8.中科科仪真空检漏事业的发展和展望
- 周小弟
- 《第八届真空技术应用学术年会》 | 2005年
摘要：本文主要论述中科科仪在四十余年中研制的氦质谱检漏仪及辅助工艺设备的简单历程和主要检漏仪的性能介绍,谈及了今后的发展趋向和有自主知识产权的先进产品.
9.真空检漏技术在汽车空调行业中的应用
- 周小弟
- 《第八届真空技术应用学术年会》 | 2005年
摘要：为确保汽车空调的制冷效果和使用寿命,汽车空调的蒸发器和冷凝器的检漏是不可少的,传统的检漏方法,由于其灵敏度低,使用烦杂,工作强度大等因素,已被高灵敏度、规范化、效率高的真空检漏技术--氦充气回收检漏系统所代替并取得理想的效果.
10.日本的氦质谱检漏仪现状
- 初明璋
- 《第八届真空技术应用学术年会》 | 2005年
摘要：随着半导体工业的迅猛发展,对真空设备的真空度要求越来越高,对检测真空漏率的氦质谱检漏仪的技术指标也在相应的提高.处在亚洲最大的真空设备生产中心,日本的氦质谱检漏仪生产商在完善原有产品的同时,还在向高灵敏度、便携式、自动化、宽量程、无油系统等方向发展.本文主要介绍日本的氦质谱检漏仪生产商及其产品,仅供国内的同行参考.
11.30kW真空炉的技术升级
- 成永东;唐涛;蔺晋成
- 《第八届真空技术应用学术年会》 | 2005年
摘要：本文介绍了一种电真空用立式真空炉的技术升级方法.它仅保留了原设备的炉体和炉丝加热部分,重新配置了一套以分子泵为主抽真空泵的半无油真空系统,替代了原设备的油扩散泵,极大地提高了炉膛的洁净度.配置了自动PID编程温度控制系统,升级了原设备的手动控温系统,提高了真空炉的温度控制精度和智能化水平,同时也提高了系统的可靠性.
12.一种高强度气体放电灯成灯排气通用设备的改进
- 陈平;孙鲲
- 《第八届真空技术应用学术年会》 | 2005年
摘要：我国目前已是光源生产大国,经过几十年的努力,光源企业得到迅速发展.在高强度气体放电灯的生产企业中,成灯排气设备已比较普及.本文以高压钠灯为例来介绍成灯排气工艺及通用设备的改进.由于铌在高温下易与氧气或氢气发生化学反应,发硬变脆,故必须将高压钠灯的电弧管装入抽成真空的外壳中.另外将电弧管放入抽成真空的外壳中可以减少灯管的热量损失,提高灯的冷端温度,从而保证灯的高光效,所以高压钠灯外玻壳排气是一道关键的工艺,必须严格控制.
13.低温水泵在超高真空排气系统中的应用
- 周健勇;邓峰;马长胜;魏作振
- 《第八届真空技术应用学术年会》 | 2005年
摘要：本文介绍了一种新型超高真空辅助设备-低温水泵.采用低温水泵与分子泵、离子泵相结合的方式,应用于大功率微波器件超高真空排气系统中,可提高系统对水蒸气的抽气能力,使管子获得所需要的清洁超高真空.其抽气机理及特性在文中有所论述.
14.一种新型全固态速调管测试调制器
- 蔡政平;曹湘军
- 《第八届真空技术应用学术年会》 | 2005年
摘要：调制器是速调管测试的主要设备。本文介绍了一种新型全固态速调管测试调制器,分析了它的电路拓扑结构及开关组件的构成.
15.阴极发射特性及阴极活性自动测试系统
- 黎晓云;鄢扬;蒙林;胡大容;王曙光
- 《第八届真空技术应用学术年会》 | 2005年
摘要：最近研制成功阴极发射特性及阴极活性自动测试系统,能够快速、准确地测试阴极性能及直流和脉冲特性,本文介绍该系统的原理、主要功能和测试结果.
16.新型杆控多注速调管电子枪的研究
- 阮存军;丁耀根;曹静;胡旭华
- 《第八届真空技术应用学术年会》 | 2005年
摘要：开展了一种基于双控制极的新型空心多电子注电子枪结构的研制工作,采用特殊的杆控结构可大大降低控制极的截止工作电压;通过相互独立的热子及组件可提高电子注的工作稳定性并延长其工作寿命;而且,利用这种新型电子枪产生的空心多电子注可改善速调管的多电子注一高频互作用效率.
17.碳纳米管场致发射显示器C-FED
- 朱长纯;史永胜
- 《第八届真空技术应用学术年会》 | 2005年
摘要：本文介绍了国外C-FED发展现状,及其C-FED的结构、性能生产工艺进行了分析论述,着重讨论了各种关键技术的优缺点.最后展望FED未来的发展趋势.
18.MBE生长940nm应变量子阱半导体激光器研究
- 董明礼;曲轶;艾立昆;李银柱;李玉英;袁俊;何江玲
- 《第八届真空技术应用学术年会》 | 2005年
摘要：本文采用高真空分子束外延设备生长InGaAs/GaAs/AlGaAs应变量子阱半导体材料,对InGaAs/GaAs/AlGaAs应变量子阱结构进行生长温度、生长时间和Ⅴ-Ⅲ族束流比等关键因素的优化设计,获得了高质量的外延材料.并成功研制出940nm应变量子阱半导体激光器在条宽100μm,腔长800μm时,阈值电流为0.41A,输出功率可达1W.
19.回旋行波速调管输入回路设计及实践
- 粟亦农;徐寿喜
- 《第八届真空技术应用学术年会》 | 2005年
摘要：现在毫米波研究和开发国际上在受到高度重视.而毫米波大功率方向上由于波长限制,快波器件回旋管是主要成熟品种.本文介绍回旋速调管输入回路的设计和结果供同行参考.
20.混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵铟膜制备及实用
- 黄江平;杨春丽;黎力;袁斌
- 《第八届真空技术应用学术年会》 | 2005年
摘要：铟膜及铟柱制备是研制红外焦平面探测器列阵的关键技术之一，本文着重介绍了“128×128”混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵(UFPA)"研制中铟膜的制备和选择铟做混合式UFPA互连材料的理由与互连方法.强调了铟膜制备基本工艺要求.根据薄膜均匀性要求,计算出了蒸发源距工件的距离及所需材料量,确定了保证铟膜不氧化的关键数据及具体操作.文中给出了铟柱列阵显微照片(显示了铟膜厚度)及研制结果.展示了UFPA的应用前景.
21.纳米材料及其在真空微电子器件中的应用
- 朱长纯
- 《第八届真空技术应用学术年会》 | 2005年
摘要：本文介绍了纳米材料的种类及其在扫描微探针、异质结、FED、负离子发生器、自持放电型气体传感器以及微机械执行器等方面的应用.
22.用于行波管螺旋慢波组件的挤压新方法
- 刘胜英;王莉;叶振昆;王自成
- 《第八届真空技术应用学术年会》 | 2005年
摘要：在螺旋慢波结构行波管制作中,螺旋慢波组件冷挤压是其中工序之一.本文提出了一种用于行波管螺旋慢波组件的挤压新方法并自制了相应的冷挤压设备样机.该设备可以用于以弹压法制作行波管的螺旋慢波结构,能够满足行波管的工艺要求,所制作慢波组件在一致性上有所提高.
23.高频钎焊在Ku波段脉冲行波管制造工艺中的应用
- 张海霞
- 《第八届真空技术应用学术年会》 | 2005年
摘要：随着空间技术，火箭，导弹，宇航，雷达和大中小功率发射电子管等技术的发展，高频钎焊技术也受到重视和广泛的应用。它具有解决精密，复杂零件的以小并大的问题，特别是微波电子管的高频系统的复杂结构，材料的多种性和管子的多样性(尺寸及形状不一)还要按照管子设计结构、尺寸连接起来，焊接接头还必须要真空气密性和比较牢固，(经氦质谱检漏仪检漏)因此在微波电子管制造工艺中已得到了广泛的应用。本文主要介绍了高频钎焊在制作Ku波段脉冲行波管放大器中的两种特殊应用的方法。
24.高温超导红外探测器电极制备
- 徐双喜;黄江平;黄宗坦;曾群德
- 《第八届真空技术应用学术年会》 | 2005年
摘要：本文简要的介绍了使用直流磁控溅射机进行高温超导探测器的电极制备,对电极制备过程中的几个关键问题进行了探讨,确定了最佳工艺条件,制备出的电极质量良好,又保持了原超导膜的超导性.采用该电极结构制备的单元及多元高温超导探测器已有较好的光电性能.
25.彩管厂炉温电脑化记录系统的设计
- 丁灿
- 《第八届真空技术应用学术年会》 | 2005年
摘要：彩管厂排气炉、低封炉、焙烧炉、稳定炉是显像管生产的关键工艺设备,生产过程中炉内各区段的温度值,为其主要过程参数.实时显示、记录和控制这些温度变量,对了解工艺条件、稳定生产、提供分析屏锥炸裂原因和保证产品质量起着很重要的作用.
26.空心阴极在空间技术中的应用
- 郭宁;高军;聂文虎;邱家稳
- 《第八届真空技术应用学术年会》 | 2005年
摘要：空心阴极在空间技术中有广泛用途,本文介绍了空心阴极的工作特点,工作原理,并在此基础上综述了空心阴极在离子推力器、霍尔推力器、电动力学系绳、航天器电位控制、空心阴极微推力器的应用,最后就加快发展空心阴极技术提出意见.
27.相位一致性行波管阴极的研制
- 田宏;刘燕文;徐振英;孟鸣凤;张洪来;王自成
- 《第八届真空技术应用学术年会》 | 2005年
摘要：本文首先分析了相位一致性行波管对阴极的要求,然后根据这些要求研制出相位一致性行波管所用的阴极,并对阴极的发射性能、阴极形貌、阴极加热功率等进行了分析测试,确定了阴极工作温度在1000℃以下.目前阴极的合格率达到了90﹪以上.
28.用于真空微波器件的热阴极曲率半径测试研究
- 刘燕文;田宏;张明晨;李玉涛;邹涛;刘胜英;董芳;张洪来
- 《第八届真空技术应用学术年会》 | 2005年
摘要：阴极曲率半径的测试方法及曲率半径误差的产生原因进行了分析,然后利用NikonM-40型测量显微镜对阴极的弧度进行了测试,并对显微镜的测量误差进行了分析,最后,给出了精确测量阴极弧度的方法.
29.集成栅极控制的碳纳米管场发射阵列阴极的制造技术
- 丁明清;李兴辉;白国栋;张甫权;李含雁;冯进军
- 《第八届真空技术应用学术年会》 | 2005年
摘要：本文重点介绍一种带集成栅极的碳纳米管场发射阴极(CNTFEA)的制造工艺.研制了两种类型的栅控CNTFEA.一种是在微孔的底部生长CNT,另一种则是在孔底部预先沉积的M尖上制备CNT发射体.前者的CNT发射体由多根CNT组成,呈锥状,较为一致;后者通常由一根或几根CNT组成.
30.TEA CO2激光快调谐技术实验研究
- 陈春雨;曲彦臣;任德明;胡孝勇;刘逢梅
- 《第八届真空技术应用学术年会》 | 2005年
摘要：本文通过对四种快速调谐机构的对比和研究,提出了一种计算机控制下扫描振镜加固定光栅的TEACO2激光器快速调谐机构.实验得到了静态扫描激光谱线的输出,并且达到了分辨CO2激光相邻两支谱线的要求,对于进一步进行快速调谐具有很大意义.