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大功率速调管冷却水套内水蒸气的影响

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本文通过大功率速调管真空烘烤排气过程中,对外真空系统真空度与时间的变化曲线对比,分析了由于速调管水套内冷却水处理不彻底而给真空系统带来的不良后果,同时也会给速调管的工作性能带来不良的影响.

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来源
《第八届真空技术应用学术年会》|2005年|29-32|共4页
会议地点厦门
作者
赵金玉; 赵海鹏; 邓峰; 魏作振;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类速调管;电真空排气系统;
关键词
大功率速调管; 真空烘烤; 排气; 冷却水;

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